二手 OERLIKON LEYBOLD Univex 350 #9409490 待售
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OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350是一种垂直轴反应器，设计用于基板表面沉积和薄膜沉积。Univex 350是专门为物理气相沉积（PVD）工艺步骤而设计的扩散批次型反应器，如蒸发、溅射沉积等技术。反应堆有一个圆柱形的开放口袋系统，允许快速交换基板和灵活的几何形状。这使得它可以适应诸如堆叠基板、狭缝或小基板片等困难的几何形状。反应堆由一个不锈钢腔室、中间用作蒸发源的柚子、两个用于压力测量的石英窗以及两个用于泵送、装载、卸载和气体输入的端口组成。腔室由连接到可编程逻辑控制器（PLC）的两个独立的PID控制器控制。OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350的组件是可编程的,可从PLC获得温度、压力和其他过程控制反馈。它还有一个自动节气门，可以在过程中稳定地保持真空。此外，Univex 350还包括针对强污染、机械损坏或气体泄漏等潜在问题的综合检查和安全系统。这些安全系统确保反应堆既可以自动操作，也可以手动操作。此外，它的自我诊断程序允许用户检查阀门操作和监控系统参数。OERLIKON LEYBOLD UNIVEX 350是一个可靠的反应器，允许各种材料的薄膜容易快速的沉积。其高效的设计和操作灵活性支持其性能,使其非常适合工业和研究用途。
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