二手 OXFORD Plasmalab 80 Plus-S #293604358 待售

ID: 293604358
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 80 Plus-S是为各种研究应用而设计的性能先进的多功能等离子体反应堆。它配备了双视图气体喷射系统,以支持涉及等离子体加工、沉积、蚀刻和清洁的广泛实验。该设备装有一个圆柱形腔室,该腔室设计用于容纳从平板到微芯片的许多加工基板。前沿腔室经过优化设计,能够在流线和涡流的作用下实现最佳的气体分布,从而确保基板上精确的工艺均匀性。它还具有独立的静电中心,以进一步保证位置精度.Plasmalab 80 Plus-S能够同时执行电感和电容耦合等离子体过程,使其成为一系列实验的理想选择。该装置的其他特点包括用于等离子体电位原位监测的创新静电电荷计,以及用于精确光谱分析的高分辨率光谱仪。该装置配有先进的计算机控制系统,允许控制等离子体实验的所有参数,集成数据采集和分析。此外,等离子体反应堆还提供各种通信接口,包括以太网和GPIB,以确保与现代系统的平稳集成。OXFORD Plasmalab 80 Plus-S设计精湛,为用户提供高水平的等离子体控制,提供工艺优化和精确的光谱测量。凭借其多功能和人体工程学设计,这种等离子体反应堆是一系列研究任务的绝佳选择。
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