二手 PICOSUN P300 #293628601 待售

PICOSUN P300是一种先进的反应性离子蚀刻反应器，设计用于深亚微米加工应用。对于包括场效应晶体管、集成电路和MEMS在内的半导体器件的制造尤其有用。P300基于在PICOSUN工业级RIE系统中使用的相同技术，从而确保了高质量的性能、可靠的运行和优异的工艺重复性。该反应器基于带齿轮驱动腔的等离子体源，即使在具有挑战性的蚀刻应用中也能实现出色的工艺均匀性和可重复性。PICOSUN P 300具有多通道气体喷射设备，具有气体溷合、冒泡和脉冲喷射能力。它还拥有同类RIE系统中最大的标准腔室尺寸之一，尺寸可达500 x 400 x 200毫米。P300的自动化涡轮抽油机保证了工艺室性能的不妥协，允许极低的底压和快速调节。对于通用的过程控制,PICOSUN P 300机器包括一个复杂的CAD工作站和直观的软件。CAD工作站允许用户绘制蚀刻配方并快速执行过程调整。第三方软件可轻松集成，扩展控制选项，反应堆人性化的触摸面板简化操作，提供所有上下游工艺步骤的完整可追踪性。P300非常适合制造3D和2.5D结构。它具有最先进的电子回旋共振（ECR）和感应耦合等离子体（ICP）源,使用户能够精确控制蚀刻深度和选择性。电介质层和金属层的高能等离子体处理可以通过增加一个额外的N2或O2源来实现，有效地将工具的能力提高一倍。PICOSUN P 300坚固的结构和专利设计确保了卓越的性能和可靠准确的工艺。它具有卓越的冷却功能,可确保一致和可重复的结果,其自动化的安全功能可保护用户和工艺室免受潜在损坏或故障的影响。此外，PICOSUN还提供维修和升级等售后服务，允许用户保持系统的最新状态，而无需完全更换资产。这样可以确保用户始终以最新的技术进步运行,从而实现最高效的处理解决方桉。总体而言,P300是任何亚微米蚀刻应用的理想选择。其先进的自动化特性和革命性的技术保证了卓越的性能、过程的统一性和可重复性,而其强大的构造和可定制的软件使其成为半导体行业专业人士的理想选择。