二手 PLASMATHERM PK-1241 #9135300 待售

PLASMATHERM PK-1241是专门为沉积应用而设计的高性能等离子体反应器。反应堆配有高温电容耦合等离子体源，以及用于精确过程控制的高速质量流控制器。该反应堆能够达到高达130摄氏度的温度，并且能够以三种不同的模式运行过程--均匀、定向和单向。高频、低压放电确保即使使用具有挑战性的工艺材料也能达到均匀和明确的薄膜。该反应堆能够处理多种底物类型，包括硅、氮化物和多晶。它能够快速沉积薄膜，从而缩短工艺时间，提高生产效率。反应堆装有自动水冷，允许长时间有效运行。它还配备了一个人性化的HMI（人机界面），可以方便地对个别工艺配方进行编程。反应堆配有温度感应系统，监测基板并优化工艺参数。此外，光发射光谱（OES）作为一个可选的功能，允许精确的过程监测和优化。该系统还具有薄膜端检测功能，可在达到理想的薄膜参数后自动关闭等离子体放电。反应器室由不锈钢构成，特别注重材料的兼容性和耐腐蚀性。它由三相电源供电，以确保安全运行。该反应堆符合CE/EMC标准,并获得RoHS认证。此外，反应堆有两种型号：PK-1241LAR和PK-1241NAR。PK-1241LAR是一个低电弧、大面积的反应堆，底物尺寸可达760 x 510 mm。PK-1241NAR是一个正常电弧的狭窄区域反应堆，底物尺寸较小，可达130 x 40 mm。这两种型号均具有坚固的设计,易于安装和操作,并能够提供可靠和稳定的工艺结果。PK-1241是任何沉积应用中反应器的绝佳选择。其精密的设计、高性能和用户友好的特性使其成为在一系列基材尺寸上精确沉积薄膜的完美工具。