二手 PLASMATHERM SEV-2DC #9072382 待售

PLASMATHERM SEV-2DC Reactor是一种等离子体沉积/蚀刻工具，允许薄膜沉积到多种基板上。该反应堆采用经过工业验证的平行板构型，允许在大面积上均匀沉积高质量薄膜。等离子体源是一种线性感应耦合等离子体（LICP）发生器，将高温和高度可控的等离子体输送到基板上。等离子体是通过对天线或电感施加高频信号而产生的。等离子体源能够支持各种蚀刻和沉积化学。反应器室由不锈钢构成，在沉积过程中被密封以维持真空。内部冷却由围绕腔室壁的循环水套提供，以确保操作时基板温度均匀。反应室配有两个动力射频匹配网络和一个动力射频调谐网络，以确保沉积和蚀刻过程的最佳等离子体条件。除了反应室本身，反应堆还包括一些其他关键成分。这些是真空泵、负载锁定、真空计、设备控制器、气体面板、气体输送系统和温度传感器。真空泵负责疏散腔室和侍从管线，压力由两个真空计监控。载荷锁用于从真空环境中引入和去除基板而不必破坏屏蔽层，双门进入可防止腔室压力损失。单元控制器是一种数字机器，为天线功率、射频匹配网络、沉积气体压力和反应物注入等所有参数提供用户界面和控制。气体面板负责引入适当的反应物进行蚀刻和沉积过程。SEV-2DC反应器是一种用途广泛、功能强大的薄膜沉积和蚀刻工艺工具，在高度可控的条件下促进高质量的薄膜。该反应堆结合了经过行业验证的特性、坚固的硬件和可靠的控制,在一系列过程中提供了卓越的性能。