二手 SENTECH SI ALD LL #293651896 待售
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SENTECH SI ALD LL反应器是一种最先进的设备，设计用于在低压环境下进行纳米级薄膜的原子层沉积（ALD），具有极好的均匀性和对沉积参数的改进控制。该系统由三个主要组成部分组成：反应堆室、单元计算机和控制单元。反应器室由一个不锈钢真空室组成，该真空室容纳底物、原料和反应气体。还包括一个综合资源处置单元和一个差动泵机。内部装有Alkanicon™电子能量分析仪（EEM），用于监测基板沉积和过程控制。此外，该腔室还配备了几个加热元件和一个涡轮泵，以维持所需的大气和压力。该工具计算机是一个包含彩色触摸屏显示屏的紧凑型盒子，用于操作所有机器功能。这个单元配备了一个强大的处理器，能够自动校准和控制ALD进程。它的软件允许用户通过定义沉积条件和参数来编程过程，同时允许手动调整。资产还具有预先编程的控制系统，以确保最佳和可重现的过程。最后，控制单元，或称原子核，完全封闭，包含SENTECH模型的所有电气元件。它包括几个模拟端口、数字信号处理器（DSP）设备、伺服控制单元和高精度光纤温度控制系统。该单元安装在室外，采用模块化设计，便于安装和维护。SI ALD LL反应器是一种现代且功能丰富的装置，旨在以安全高效的方式提供精确的纳米级薄膜沉积。凭借先进的技术部件，该机器能够处理各种沉积过程，适合生物信息学、半导体、航空航天等行业。
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