二手 STS / ADVANCED VACUUM SYSTEM Vision MK II #293754706 待售
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ID: 293754706
晶圆大小: 8"
优质的: 2008
PECVD System, 8"
Turbo pump
Chiller
Gases: SiH4/Ar2, CH4, NH3, N2, O2, Ar, CF4, N2O
2008 vintage.
STS/ADVANCED VACUUM Equipment Vision MK II是结合先进技术和创新设计,在真空过程中达到最佳性能的尖端反应堆。反应堆的设计满足各行业的苛刻要求,包括半导体制造、薄膜沉积和研究应用。凭借其最先进的功能和全面的功能,STS Vision MK II在真空系统中提供了无与伦比的控制、精度和可靠性。ADVANCED VACUUM System Vision MK II反应器的一个关键特点是其先进的泵机,其设计目的是创造和维持高真空水平,以达到最佳工艺性能。反应堆配有高容量涡轮分子泵、低温泵、干泵,协同工作,实现了气体和蒸气从腔室的快速疏散和高效泵送。这种坚固的抽水机可确保快速的抽水时间、高抽水速度和低基压,这对于高性能真空过程至关重要。除了卓越的抽水能力外,Vision MK II反应堆还拥有精密的气体处理工具,能够精确控制过程中的气体和蒸气。反应堆配有质量流量控制器、压力调节器、气体进气阀,使用户可以精确调整气体流量、成分和压力水平,以满足特定的工艺要求。这种先进的气体处理设备确保了卓越的工艺控制、均匀的薄膜沉积以及在广泛的真空应用中可重现的结果。STS/ADVANCED VACUUM Model Vision MK II反应堆还设有先进的加热和冷却设备,能够在过程周期中进行精确的温度控制。反应堆配有电阻加热器、水冷夹套、温度传感器,使用户可以在腔内保持稳定均匀的温度轮廓。这种精确的温度控制对于控制薄膜生长速率、优化薄膜性能以及确保沉积过程的重复性至关重要。此外,STS Vision MK II反应堆配备了全面的自动化和控制系统,使用户能够轻松编程和监控过程参数。反应堆采用人性化界面、触摸屏显示、直观软件,允许用户设置工艺配方、监控单元参数、实时分析工艺数据。这台先进的自动化机器简化了操作,提高了生产效率,并确保了真空系统中一致的流程性能。此外,ADVANCED VACUUM TOOL Vision MK II反应堆设计具有可扩展性和多功能性,采用模块化腔室设计,便于定制和扩展。反应堆可以容纳不同的基材尺寸、构型和工艺要求,适合广泛的研究和工业应用。无论是半导体器件制造、光学涂层还是表面改性,Vision MK II反应堆都提供了满足多样化工艺需求所需的灵活性和适应性。总体而言,STS/ADVANCED VACUUM Asset Vision MK II反应堆以其先进的特性、精确的控制和可靠的性能,为真空技术设定了新的标准。通过将最先进的技术与创新的设计相结合,STS Vision MK II为用户提供了一个强大的工具,可以在真空过程中取得卓越的效果,确保各种应用程序的卓越质量、效率和生产力。
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