二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-720 #9394396 待售

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-720
ID: 9394396
CVD System (3) Chambers.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720是一种高效的半导体晶圆制造工艺反应器。它设计用于加工金属、氧化物、氮化物以及半导体工业中使用的其他材料。TEL MB2-720反应器利用可靠的多级电子束加速器提供最佳工艺参数和低压沉积速率。反应堆的运行温度低于其他常规反应堆,在沉积过程中提供了更大的灵活性和精度。多级电子束加速器能够提供更高的线性加速率,提供更短的处理时间。对梁的形状和角度进行了优化,使其具有最佳的均匀性和沉积特性,并对梁进行了控制,从而优化了吞吐量和沉积控制。该设备还配备了一个自动监测系统,就该过程提供反馈。这样可以确保材料的最佳利用率和精确的结果。TOKYO ELECTRON MB2-720反应器利用工艺室的大气压变化作为提高生产过程中均匀沉积的一种方法。这有助于减少基板位置和基板温度之间的变化。该装置还具有低能电子束控制机器,能够产生能量分布范围狭窄的电子和离子,以精确控制沉积过程。这有助于确保均匀沉积。MB2-720可以集成到整个半导体生产线中,允许将相同的设备用于多个过程以及基板的装卸。反应堆还设计方便、有效的维护,组件易于更换。该工具还具有直观的用户界面,允许快速操作指令和自动化过程控制。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720是处理半导体晶片的先进可靠反应器。它在制造过程中具有很高的效率、均匀性和控制性,是半导体制造厂的理想选择。
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