二手 TEL / TOKYO ELECTRON NT333 #293659316 待售

TEL/TOKYO ELECTRON NT333是一种最先进的外延反应器，设计用于研究应用和先进的设备生产。TEL NT-333反应堆结合了高效设计和小占地面积，允许无缝集成到生产车间。它能够通过手动或机器人装卸处理所有标准晶片尺寸（2"至8"）。TOKYO ELECTRON NT 333具有双基板加热器室，可将基板加热至最高1200 °C的温度。光学高温计和温度控制系统确保沉积周期的准确性和可重复性。此外，NT333得益于独特的气体输送设备，该设备能够实现低压动态控制，从而能够精确控制沉积速率和均匀性。反应堆还具有先进的电源模块，其中可以编程电极射频功率来控制温度和层厚度。NT-333配备了先进版本的TEL E-VHS"主动室清洗"系统。这一单元为不断变化的工艺条件提供了一个快速、高效的反应时间，允许更高的吞吐量水平和更少的可重复性问题因腔室污染。TOKYO ELECTRON NT-333还配备了新增加的微粒过滤机，提供稳定的过程，降低粒子水平，提高晶圆产率。最后，TEL NT333还提供了一个全面的环境监测工具，提供各种prameter的实时数据，包括气体压力、温度、射频功率、温度分布和压力分布。对这些数据的分析可以帮助流程工程师轻松识别任何异常,并为精确收集频谱数据提供平台,促进流程优化和提高流程产量。