二手 TEL / TOKYO ELECTRON Trias SPA #9220304 待售

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ID: 9220304
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2005
Plasma nitridation deposition system, 8"-12" Load port Single chamber system 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Trias SPA是专门为半导体製造而设计的蚀刻/组装器。它采用自动化的在线蚀刻/组装工艺,能够高效、经济高效地生产半导体芯片。蚀刻/组装过程从向TEL Trias SPA浴中注入液体前体开始。液体前体与半导体晶圆的暴露区域发生反应,产生蚀刻图样和几何形状。这些蚀刻几何形状用于在半导体晶片上构造所需的电子元件。此外,TOKYO ELECTRON Trias SPA配备了自动计算机视觉能力,使设备能够识别定位目标蚀刻/组装点,以提高工艺的精度和重复性。该系统还配备了一个集成CCD摄像头,可以在工艺完成后对蚀刻图桉进行高分辨率检查。这有助于设备检测生产组件中的任何潜在故障或缺陷,从而确保制造芯片的最高质量标准。此外,该机器还配备了先进的沉积技术,使其能够将金属、绝缘和其他物质沉积到晶片表面。这一步进一步提高了工艺精度和效率,使得芯片的收益率高。此外,Trias SPA机的设计是为了提供安全可靠的操作,尽量减少必要的人工和出错的风险。它也是简单的维护和容易集成到现有的半导体生产线。总之,TEL/TOKYO ELECTRON TRIAS SPA是一种高度可靠和高效的半导体晶片蚀刻和组装工具,允许以经济高效的方式生产先进和复杂的芯片设计。
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