二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914 待售

TEL Triase+EX-II Ti/TiN是为工业用途而设计的反应堆。用于进行氧化、还原、蚀刻、沉积和表面处理等化学过程。它具有一个24 ″的等离子体阴极腔，具有倾斜的镜面构型，可以使沉积速率和厚度在大面积上均匀化。该室具有气密陶瓷绝缘壁，并带有可选的陶瓷盖，用于热控制和低蒸发率。其6向可调气体控制阀总共可提供25种工艺气体，流量控制最多可达32种气体。具有最高输出500W的双独立射频发生器可确保沉积和表面处理均匀性的平稳、可重复的过程。Triase+EX-II具有高级软件控制功能,具有预加载的流程配方、高级诊断功能和可视化监控功能。其设备监控和支持应用可以提供过程稳定性和基板质量管理。数据采集设备提供实时流程信息和数据记录功能。此外,系统还具有可选的远程访问和图形用户界面以及配方构建器功能。Triase+EX-II专为在Class-1洁净室条件下运行而设计,并配备经过认证的气体管理单元、安全联锁装置和先进的安全功能。它的设计目的是维持先进工艺所需的高温，可在高达200°C的惰性环境和高达5 Torr的高压环境中运行。同时，其自动屏障室清洗机可进行多层厚度沉积，无污染风险。综上所述，TOKYO ELECTRON Triase+EX-II Ti/TiN是一个工业反应堆，设计用于执行先进的化学过程。它具有多种气体控制系统、双射频发电机、高级软件控制和可选的远程访问功能。设计用于Class-1洁净室，并配有安全联锁和先进的安全功能，以确保安全和质量。