二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ SPA #9252463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+SPA是纳米结构和薄膜生长的专用反应器。该反应堆是TEL先进等离子体化学气相沉积（CVD）系统之一。它提供了高达5nm/最小的薄膜沉积速率,并具有卓越的质量,以及低温湿、热和大气过程。获得专利的TEL Triase+SPA设计能够生产纳米结构的薄膜,以及具有极其精细特征的超光滑表面。TOKYO ELECTRON TRIASE+SPA配备独特的平面磁控管设计，提供对等离子体的最佳控制。这使得生产纯净和低缺陷密度薄膜的效率和再现性成为可能。此外，该设备还有一个热源套件，可为不同的沉积应用将基板从20°C加热到500°C。Triase+SPA能够处理直径不超过8英寸的基材，并配有铝制隔热板，以确保样品温度均匀，防止样品意外蒸发。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+SPA也可用于低温湿清洗过程。该系统配有离心机、蓄水池、歧管输送装置，用于湿式清洁溶液的受控应用。此外，该机器还能够进行大气和干燥处理，如快速热退火（RTA）、氧化、氮化和底物磷化。TEL Triase+SPA是生产纳米结构和薄膜的高效有力的工具。其可靠、可复制的工艺性能保证了高质量胶片的生产。此外，该工具的先进控制特性在资产运行过程中提供了最佳的基板和气体均匀性。这使得反应器非常适合用于各种沉积和退火应用。