二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+是由工艺设备领先制造商TEL/TOKYO ELECTRON生产的先进的半导体聚焦立式炉堆。TEL Triase+是一种多用途工具，非常适合低批量和大批量生产，其中包括对以前的垂直炉反应堆模型的一些改进。TOKYO ELECTRON TRIASE+结合了几项独特的技术，例如改进石墨室设计和通过双区温度控制改进晶圆温度控制，以最大限度地提高温度均匀性。改进的石墨室设计增加了晶圆表面的气流和温度均匀性，在较少的循环中提高了产量。双区温度控制允许独立控制上下室温度，从而提高了大衣的均匀性和密度。Triase+还具有TEL专有的自动臂板调节功能,允许自动调节晶圆高度,降低人工成本并提高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+的自适应过程控制（APC）设备提供准确一致的过程控制。使用APC,用户可以根据其配方要求设置特定的双室温度配置文件。该系统能够自动调整配方，以补偿由热滞后或晶圆大小不同等因素引起的工艺波动。TEL Triase+专为易于操作而设计,在流程应用程序方面提供了高度的灵活性。通过其集成配方编辑器，用户可以为特定流程创建和编辑自定义配方，从而减少周期时间。TOKYO ELECTRON TRIASE+还具有增强的安全功能，如主动冷却单元和集成炉室排气机，提供了更安全的工作环境。总体而言,Triase+是半导体制造商的宝贵工具。其先进的技术和创新的特性使其成为低批量和大批量生产过程的理想选择。它灵活的过程控制和配方编辑器,以及增强的安全功能使其成为任何设施的宝贵资产。