二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #9357066 待售
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已售出
ID: 9357066
晶圆大小: 12"
优质的: 2014
Metal CVD system, 12"
(3) Load ports, 12"
Loader module
(3) Load lock modules with cooler
Power Distribution Unit (PDU)
PF S2-0200 Safety
(2) Ti Process modules
PCOT Ti Chamber
Gas box
RF Generation unit
Trap interface
HP-Ti Kit
(2) TiN Process modules
PCOT TiN Chamber
Gas box
Trap interface
SFD Kit
PF Accessory:
Load port
UI Fixing at LM right side
EFEM and fan check monitor
TM, LLM Leak check port manual valve transfer navigation system
PF Outer cable
Edge grip blade
LM Fluorescent light
TM RGA Port without valve
(2) Ti PM Accessories:
Ti Leak check port
Ti PM Outer cable
Ti Gas box: ClF3, H2, NH3
(2) TiN PM Accessories:
TiN Leak check port
TiN High coverage process kit
TiN PM Outer cable
Utility accessory:
Utility interconnection gas female
FDC
Signal tower
CVCF
Rear step
Cable tray
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+是一种最先进的反应器，设计用于生产无定形和微结晶硅薄膜太阳能电池。该反应堆提供了精确、受控的环境，实现了行业最佳效果。TEL Triase+具有三步、多阶段的热过程,可实现精确的温度控制和快速、均匀的加热,从而提供高度均匀和可重复的过程。该反应堆还设有一个特殊的光束成形光学设备，以确保反应区的均匀辐照，以及一个多波长红外加热系统，以确保底物的温度在整个底物上均匀。TOKYO ELECTRON TRIASE+配备了多源供气单元，可以同时引入多种气体，从而对反应气氛进行更精确的控制，创造出更均匀的过程。它还具有主动安全机器，设计用于在出现异常加热或冷却情况时关闭反应堆。反应堆还提供先进的过程控制自动化功能，允许根据用户的过程要求定制配方。该工具还具有直观、用户友好的界面，便于操作和监控工艺参数。Triase+反应室的设计是为了保证所生产薄膜的最佳均匀性。它具有平衡的流速、低压范围和反应室中最佳的温度分布。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+因其独特的设计特性提供了更高的灵活性和可靠性。TEL Triase+是一种高效高效的反应堆，生产率高，条件可控，工艺结果均匀。总体而言，TOKYO ELECTRON TRIASE+反应堆为生产高质量的薄膜太阳能电池材料提供了极其精确和用户友好的资产。反应堆是为了在一个非常小的包装中达到最大效率而建造的，在生产过程中保持高度的均匀性，并在选定的工艺参数内可靠运行。
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