二手 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630289 待售
网址复制成功！
单击可缩放
THOMAS SWAN/AIXTRON CCS是一种等离子体增强化学气相沉积（PEVCD）反应器，设计用于制造一系列半导体薄膜。AIXTRON CCS反应堆使用宽孔系统提供了一个较大的沉积区域，使系统可以灵活地为许多不同的应用生产一系列薄膜。宽孔系统还允许高通量和高精度控制薄膜厚度。THOMAS SWAN CCS配备了一个超高频（UHF）射频（RF）源和一个等离子体电离源，以激发用于制造薄膜的沉积反应。超高频源的工作原理是在基板和射频源之间产生交替的电场，进而导致等离子体电离，并将反应性材料沉积到基板上。除了超高频源外，CCS还包括一个大功率直流电（DC）源来执行持续等离子体点火。直流源的作用是创造一个长寿命的电场，这有助于维持等离子体的形成。它还确保等离子体电离、离子能量和沉积速率一致。此外，直流源允许非常低的底物温度，这有助于降低沉积过程中底物损坏的风险。THOMAS SWAN/AIXTRON CCS也有多个沉积气体入口，允许控制和可变浓度的前体材料。气体入口还包括一个淋浴喷嘴，用于更均匀地输送前体材料，以实现更均匀的薄膜沉积。此外,AIXTRON CCS还包括一个自下而上的敏感剂,可帮助将基板保持在一致的温度和压力下,从而确保整个薄膜均匀沉积。THOMAS SWAN CCS反应堆设计方便用户，其先进的工艺控制为用户提供可靠和可重复的结果。CCS反应器非常适合生产技术先进的薄膜，适用于各种半导体，包括晶体管和太阳能电池。
还没有评论