二手 THOMAS SWAN / AIXTRON CCS #293630290 待售
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THOMAS SWAN/AIXTRON CCS是一种最先进的复合半导体反应器，专门为复合半导体工业内复杂材料的沉积而设计。AIXTRON CCS提供安全的通量控制级别,允许通过其PI控制的闭环操作创建精确和可重复的触点、特征和模式。这种安全的通量控制是由于THOMAS SWAN CCS独特的分支路径体系结构提供了直接的热流控制。此外，CCS拥有广泛的可控工艺参数，使其成为强大的沉积工具。它提供高达1000 °C的温度范围和高达4000 Torr的压力，允许大量的精密晶体和薄膜沉积。此外，还通过THOMAS SWAN/AIXTRON CCS优越的气体输送网络对过程气体输送进行精确的调制和监测。控制过程气体的压力、温度和流量可以使用户精确地精确地获得所需的沉积物。此外,AIXTRON CCS还配备了先进的光学和计量分析工具,使用户能够轻松监控和记录在线生产结果。光学发射光谱学（OES）和基于弹性的实时层厚度测量等特征允许对该过程进行实时控制，再次允许创建复杂的特征。总之，THOMAS SWAN CCS是一种用于复合半导体材料沉积的强大而精确的反应器。其安全的通量控制水平和一系列可控制的工艺参数可以产生复杂、复杂和精确的沉积物，而其光学和计量分析工具可以对生产过程进行实时控制和监测。
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