二手 TOSHIBA / NUFLARE EGV-28FM #9069033 待售

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28FM是一种高性能电子束光刻设备，设计用于生产用于制造半导体器件的基础晶片的先进材料。该系统由直径为14厘米的直写枪组成，能够产生尺寸可达8纳米的非常精确的图桉。它还能够将光束极精确地定位在晶圆上，这是制造高精度半导体结构所必需的。该单元设计用于处理300毫米或以上、最多28英寸晶片的晶片。机器可以加工砷化的、硅的、磷化的等底物。它具有绘制一系列结构的能力，如高长宽比通风孔、触点、纳米、各种金属和聚合物。该工具也可用于对齐，方法是将晶圆上的配准标记与绘制的图样重迭。该枪安装在一个可旋转的级，这允许精确的对准和更均匀的光束强度跨越晶圆。该级提供了纳米级的精度，也允许电子束的快速和精确的定位，减少过程时间和提高吞吐量。电子束是利用极高亮度的冲击电离型电子源产生的。源可以在1mA到30mA的各种电流水平下操作，从而可以调节光束的强度。该资产还具有用于设置和维护光束质量的高分辨率点监视器。它还可以配备室内晶片装卸设施，对准精度优于50微米。室内的电子束活化等离子体可用于加工敏感材料。该腔室由超高真空批准的不锈钢制成，设计用于低真空颗粒计数。模型中的高压电源能够提供从0V到50kV的加速电压，并且设计为确保安全可靠的运行。东芝EGV-28FM是生产新材料的先进设备，分辨率高，精度高。它可以用来制造基础晶片的各种结构，能够容纳任何尺寸的晶片，使其成为下一代半导体器件的理想选择。