二手 TOSHIBA / NUFLARE EGV-28GX #9069032 待售

TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX是一种超高能电子束反应器，设计用于各种电子应用。凭借其28 mm2 （28 cm2）的有源面积和高达40 kV的输出光束，这一设备非常适合用于光刻胶、显示面板、晶圆处理等多种微电子。它的高能电子束创造了一个通过等离子体辅助过程进行蚀刻、清洁、沉积和烧结的平台。东芝EGV-28GX采用多级激光光线扫描系统，与单束和多束扫描系统相比具有良好的光束稳定性。多级OMS单元由两个独立的控制系统组成，一个用于控制激光发射器，另一个用于控制电子束。此外，NUFLARE EGV-28GX包括几种激光聚焦模式，为在平方毫米范围内蚀刻或图桉化小特征提供最高分辨率和精度。EGV-28GX利用镀钨薄膜喷枪创造了均匀的能量分布和更精确的能量沉积剖面，优化了工艺生产。其电容控制、离子阻断的集成电子枪提供了一致、低像差的电子束，以提高过程均匀性。此外，背面气体收集器允许完整的冲洗蚀刻过程，消除离子污染的风险。先进的计算机控制机在工艺参数选择方面提供了极大的灵活性，让研究者在单行程或脉冲操作和其他可用工艺参数之间自由选择。TOSHIBA/NUFLARE EGV-28GX提供了广泛的参数修饰符,加上易于使用的图形界面,使其成为精密晶圆处理的理想选择。东芝EGV-28GX是一个非常可靠的工具，提供统一的处理。它小巧的脚印和多功能性使其成为任何实验室或研究设施的理想资产。NUFLARE EGV-28GX凭借其精密和先进的功能，正迅速成为电子束光刻和加工应用的领先选择。