二手 ULTRATECH / VEECO Savannah G2 #9396984 待售

ULTRATEC/VEECO Savannah G2是一种原子层沉积（ALD）反应器，主要用于沉积广泛的薄膜。它可以精确控制薄膜从直径几到几百纳米的生长。该设备为单室大气压ALD反应堆，采用冷壁技术进行工艺气体分配。该系统能够处理低至-40 °C的温度和一系列反应性气体溷合物，使其能够沉积氧化物、氮化物和金属等材料。VEECO Savannah G2配备了两个适合高反应性气体的淋浴头气体喷射器。这些喷射器设计成在低流量下提供均匀的气流。而且，淋浴头适合批量加工操作，因为它带有一种脉冲形式的材料沉积的爆裂模式，确保了均匀和可重复的结果。此外,该设备还配备了快速温度倾斜功能,可提供高通量过程,例如当样品需要在两个周期之间加热和冷却时的薄膜生长。而且，机器还配备了氮气净化工具，用于在使用水、羟基等高反应性气体时控制室内压力，以降低沉积速率。此外，该资产还有一个集成的光学高温计，为控制腔室温度提供准确的热数据和实时反馈。借助其机械翻盖室的开口，用户无需拆除或修改部件即可轻松进入该室。它还配备了高级控制软件，提供了根据用户需求定制流程的平台。ULTRATECH Savannah G2能够达到高达5nm/min的增长率，在多次沉积同一膜时具有非常好的重复性。已成功用于研发新材料，也用于生产微处理器、太阳能电池、发光二极管等薄膜器件。