二手 ULVAC CC-400 #9395962 待售

ULVAC CC-400是一种化学气相沉积反应器，旨在快速准确地制造各种材料组成的薄膜，用于微电子、光电子等精密应用。反应堆由形成工艺室的石英管组成，允许使用者在所需工艺条件下控制大气。加工室被底板和钟形罐包围，以容纳工艺气氛。同时加热基板和钟形罐以保持反应器内的恒温。CC-400使用高纯度气体，例如氮气、碳氢化合物和其他作为加工气源的气体来制造所需的薄膜，通常是通过热分解过程。气体可以通过质量流控制单独或同时引入反应堆。还可以根据需要集成可选的质量流控制器和气体溷合系统。ULVAC CC-400的腔室通过机械和涡轮分子泵送系统的组合保持在真空中，根据气体组成和反应堆的大小提供了广泛的可实现的过程压力。该系统还采用了高功率密度、射频感应加热系统，以实现高效的薄膜生长，以及可选的热阻加热器或灯，以增加加热能力。CC-400提供了通过动态温度倾斜和从0°C-1,000°C精确温度控制来灵活控制温度的方法。为了精确控制，可以将PID控制系统集成到反应堆中，以精确控制反应温度。该室有内置的温度监控器和相应的警报，以便进行温度监测和安全控制。总体而言，ULVAC CC-400是一种可靠、灵活的CVD反应器，适用于各种薄膜生长应用。它提供了良好的过程控制，包括气体溷合，温度控制和真空水平控制，允许在各种操作条件下精确的薄膜增长。