二手 ULVAC CME-200J #293810220 待售
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ID: 293810220
优质的: 2008
PECVD System
Chamber
Controller
(4) Gas boxes
(7) Pumps
Gas scrubber
Accessories
Manuals
Power supply
PC
2008 vintage.
ULVAC CME-200J是一种用于沉积过程的双频工业等离子体反应器.配备13.56 MHz（直流磁控管型）和2.45 GHz（单频型）两种频率。反应堆可以加工多达9英寸的晶圆基板，可以很容易地适应从材料开发到晶圆级生产的各种需求。它配备了一个工艺气体溷合器，允许对工艺气体的溷合比进行精确的控制，允许精确的沉积控制。它还具有自动电源控制系统和气流控制器.反应堆有一个圆柱形的腔室，体积为11.2L，电极直径为200mm，适合广泛的蚀刻、沉积和灰化应用。此外，它还配备了远程匹配网络，有助于在运行过程中保持稳定的等离子体环境，同时提高负载匹配精度。此外，该反应器被搪瓷，以确保一个不透水的，耐腐蚀的表面，以防止加工气体与腔室表面的反应。反应堆利用涡轮分子泵在腔室内产生真空，允许直接控制腔室压力从1x10-3到1x10-7 Pa，还配备了能精确控制腔室内底压的压力均衡机构。此外，该系统还采用了同时反应控制技术，并将其集成到过程控制软件中。这确保了稳定和一致的过程性能,即使在批处理过程中也是如此。为了安全起见，CME-200J配备了各种保护功能，如压力检查和锁定、静音模式以及由压力开关监控的真空泵。它还配备了安全措施，如用于腔室进入和热监测仪的安全联锁装置。此外，该系统设计为在室内最高+50°C的温度范围内运行，并进一步配备减热技术，以确保安全运行。总之，ULVAC CME-200J是一种强大而可靠的工业等离子体反应器，设计用于沉积过程和多晶片基板加工。它配备了各种自动化过程控制，以精确控制沉积过程，并设计了多种安全功能，以确保随时安全运行。
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