二手 ULVAC CME-400ET #9266625 待售

ULVAC CME-400ET是为先进半导体芯片生产而设计的电子束（EB）物理气相沉积（PVD）沉积系统。CME-400ET由真空室、EB枪和水平电源组成。真空室设有可打开的门，采用不锈钢制成。EB枪用来产生电子束，这些电子束被植入真空室内的基板上。水平电源产生必要的电场，使电子束加速向底物。ULVAC CME-400ET的EB枪装有连接的DLC薄膜绝缘体和栅极，以防止能量损失。变电压和电流的调整直接影响光束的电流密度和密度分布。为确保薄膜沉积内的重复均匀性，安装了可调节的偏转电极，以实现精确的偏转角度和方向。可变对峙和快门等附加功能允许完全控制EB光束的特性。CME-400ET的主室尺寸直径为400-450毫米，高度为200-250毫米。为了保持一个一致的真空环境，系统补充了双级粗加工泵和主动气体出血系统，使最终背景压力达到10-7 Torr。磁控溅射源也可加入金属或氮化物沉积。高端ULVAC CME-400ET电子束技术提供精确可靠的薄膜开发，使其成为半导体行业的宝贵工具。其紧凑的设计，强大的真空能力，以及提供发散控制的能力，使得这种反应器非常适合制造高性能的集成电路。凭借其卓越的性能，CME-400ET是先进半导体芯片生产的理想选择。