二手 ULVAC EBH-6 #9053833 待售

"ULVAC EBH-6"是等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器的高性能、环保、经济的系列，旨在使薄膜层精确高效地沉积在半导体基板上。这一系列反应堆利用能量效率高、运行温度低的浓缩等离子体，提供一致和优化的沉积结果。此外，EBH-6系列可用于有效沉积无机和有机过程，包括氧化物、氮化物和有机薄膜。ULVAC EBH-6系列提供了丰富的功能,使用户能够精确控制沉积过程。这包括一个高精度的石英监测仪，用于测量实时和过程后沉积结果，以及一个独特的计算机控制的电弧偏置系统，用于精确控制沉积速率和薄膜厚度。内置的压力控制系统可以让用户调节压力、温度和气体流量，确保最优的过程稳定性和可重复性。EBH-6系列的设计考虑到了安全性。移动铝喷射器提供了一个易于使用的界面与集成的安全系统，如压力和温度控制，地面故障保护。在水冷电极周围使用集成的法拉第笼提供了对等离子体产生的EMI的保护。此外,内置的安全功能允许对真空系统进行全面控制,即使在紧急锁定期间也是如此。此外，ULVAC EBH-6系列提供了多种操作模式，以便优化效率和成本效益。这包括备用模式和节能模式,使操作员能够显着降低功耗和/或调整不同作业的生产速度。这些功能使EBH-6在节省成本方面极具竞争力。总体而言，ULVAC EBH-6系列是寻求高效、经济的薄膜沉积解决方桉的理想选择。凭借其高性能、精确度和生态友好性，可以依靠它提供一致、高质量的结果。