二手 ULVAC EBS-10A #9053858 待售

ULVAC EBS-10A是一种适合thin‐film沉积的溅射设备。它采用反应性溅射工艺，将目标材料引入真空泵产生的真空中。目标连接到高压电源，导致目标材料在施加电压时溅射。EBS-10A是一个易于使用的系统,具有自动化的、自行设计的操作面板,允许用户节省时间并增强实验执行。这是通过在设备上实施自动化的高级命令和自我诊断功能来实现的。用户界面有直观的图形设计和简单的导航命令。ULVAC EBS-10A具有很大的有效沉积面积，能够在基板上产生高达13mm的薄膜。它采用三枪并联的DC-DC无功溅射机，能够与3D-structures实现最佳兼容。EBS-10A是一个坚固的工具，具有紧凑，强大的设计，以提高稳定性。这样可以确保长期可靠和可重复的薄膜沉积。该资产还可以提供复杂薄膜的高质量沉积，而无需高成本耗材。ULVAC EBS-10A利用离轴式溅射室进行高速沉积。该腔室配有质量流控制器和循环通风室模型，能够实现广泛的溅射气体溷合物和速度，以及大的底物容量。EBS-10A具有一系列可调参数，可用于最佳薄膜沉积。该设备具有可调压力和温度的工艺区域，能够优化所有参数以获得所需的结果。此外,用户还可以调整溅射气体类型、沉积来源、功率水平和厚度.ULVAC EBS-10A是一个功能强大、用途广泛的系统，适用于多种类型的薄膜沉积任务。对于需要低维护操作、希望拥有广泛控制参数以产生最佳和质量效果的用户来说，这是一个绝佳的选择。