二手 ULVAC EBX-10D #293621576 待售

ULVAC EBX-10D是一种行星齿轮式、两级涡轮分子真空泵系统，设计用于在反应堆基板加工过程中创造高真空环境。EBX-10D将行星齿轮的优越性能与涡轮分子泵相结合，使其成为半导体、光盘和显示行业要求较高的真空过程的理想选择。ULVAC EBX-10D采用两级油门式涡轮泵，使真空泵送速度达到3.2 x 10-2 Pa升/秒，最终压力为5 x 10-7 Pa TM （Torr）。这是通过采用可变控制器实现的，使EBX-10D成为同级别的涡轮分子泵中最快的。可变控制器将涡轮泵的最大转速从400 r/min调整至1200 r/min，从而实现了卓越的灵活性和性能。此外，ULVAC EBX-10D配备了高性能的行星减速齿轮，能够抑制涡轮泵旋转进气口的扭矩波动，以减少振动。此功能可确保稳定运行,即使马达转速迅速改变也是如此。再者，行星齿轮降低了马达的噪音，允许安静的操作，减少了腔室内部的负载。此外,EBX-10D还提供了多种功能,旨在使操作和维护尽可能简单明了。内部风扇组件易于拆卸清洗，并监控排气温度，防止过热。润滑油储层可以方便地进入和补充，控制器同时监控泵的外部和内部温度。此外，ULVAC EBX-10D还具有多种安全功能，如液晶显示器和安全阀，以确保用户随时安全。总体而言，EBX-10D是一个特殊的反应堆系统，提供卓越的性能和易于维护。它非常适合处理具有挑战性的真空过程，其令人印象深刻的速度和低振动能力确保了可靠和一致的操作。此外，其合理的安全措施进一步使其成为任何反应堆系统的顶级选择。