二手 ULVAC EBX-8C #9053841 待售

ULVAC EBX-8C是为特定工业应用而设计的低压电子束（EB）反应器。它是一种紧凑、串联、中等功率、基于EB的涂层系统，提供精确、高精度的薄膜沉积。EBX-8C是一种高性能反应堆，具有高度流线型设计、低能耗和小占地面积等卓越特性。ULVAC EBX-8C可以在低真空压力和高真空压力下运行,并且可以达到10⁻¯6到5.0E-4 Pa的工作真空压力,这确保了对均匀性和层厚等沉积参数的精确控制。反应堆还具有极低的基压，低于10⁻¯7 Pa，这允许在工艺室中产生低残压干扰和接近相等的粒子轨迹。EBX-8C使用连接到枪组件的EB源,该EB源被送入装有所需工作气体的特殊腔室。EB源由灯丝、控制栅格、加速距离和集电极组成。可调整EB源以提供最佳膜沉积所需的电压和能级。加速度距离可调，允许对光束能量进行精细控制。在加工室内，EB光束使用聚焦透镜和转塔等光学元件指向工件。工件放置在可旋转的基板级上，并用真空夹紧系统固定到位。挡板加工室即使在高长宽比的困难几何中也能确保沉积膜的高均匀性。ULVAC EBX-8C具有全自动过程操作和高级控制电子设备。交互式可编程逻辑控制器（PLC）提供了四种不同的加速度和总加速度操作模式。它还提供几种安全控制,包括温度、背压、腔室压力等.EBX-8C的额定功率为8 kW,可以在0到380C的温度范围内运行。ULVAC EBX-8C配备了多种配件和备件，如额外的镜头、工件支架、防护罩、冷却系统、目标级等。这确保了EBX-8C的可靠和高效的操作和维护。