二手 ULVAC ED-60000-D14 #9053842 待售

ULVAC ED-60000-D14是一种先进的蚀刻反应器,专为各种研究应用而设计.它具有一个内径为6英寸的加工室，能够处理范围广泛的基板，温度不超过1400 °C。反应堆还配备了先进的压力控制设备和高速气体淋浴，以确保精确和一致的蚀刻过程控制。ED-60000-D14设计用于为一系列基材（包括Si、SiO2、GaN、GaAs和其他材料）提供出色的蚀刻工艺性能。它能够在1350°C的温度下处理材料，允许以最高精度重复蚀刻。该反应堆还具有ULVAC独特的气体淋浴装置，可快速确保工艺室内所需的气体成分。这样可以更好地控制蚀刻过程,并改善批对批的均匀性。ULVAC ED-60000-D14有一个1,400升的工艺室，在15 torr的最大减压下运行。这样可以缩短循环时间,同时保持蚀刻精度。此外，高速气体淋浴确保了一个统一、稳定的气体环境进行精确的蚀刻控制。计算机控制的压力控制系统能够实现均匀、稳定的蚀刻速率，以高质量地生产复杂的图样和复杂的结构。为降低室壁温度,ED-60000-D14采用增强的隔热套设计.此功能有助于最大程度地减少蚀刻过程造成的热损失。它还提供了改进的工艺室温度均匀性和可控性以及改进的工艺窗口。集成的HeTCA冷陷阱进一步提高了气体单元性能，提供了20 mTorr或更低的清洁气体环境。ULVAC ED-60000-D14还提供了一种先进的真空泵机器，专为长寿命运行和低拥有成本而设计。该工具利用隔膜泵、分子阻力泵和增压涡轮泵实现20 mTorr或更低的底压，从而实现精确的气体控制和蚀刻条件。在安全方面，ED-60000-D14具有先进的安全资产。它有多个故障检测系统，设计用于检测工艺室问题，包括废气异常、电弧和加热程序异常。该模型还执行自动环境监视和故障阻止。除此以外，ULVAC ED-60000-D14还有一个液氮冷却设备，通过避免任何异常的腔室温度有助于确保安全运行。总之，ED-60000-D14是一个先进的蚀刻反应器设计用于研究的应用。它有一个6英寸的加工室，能够加工各种基板，温度不超过1400 °C。ULVAC ED-60000-D14还采用高速气体淋浴和压力控制系统进行精密蚀刻过程控制。此外，反应堆还具有多种安全特性，如液氮冷却装置和监测机器，以检测异常室内温度、电弧和气体泄漏。最后，ED-60000-D14还包括隔膜泵、分子阻力泵和用于有效真空维护的增压涡轮泵。