二手 ULVAC EX-550-C10 #9078375 待售

ULVAC EX-550-C10是一种高性能等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器，旨在为一系列应用沉积一系列材料。反应堆具有简单、耐用的不锈钢腔室和全面的计算机自动化，易于使用，实现了高质量、可重复的结果。这座反应堆配备了最先进的电子回旋共振（ECR）羽状包络，以实现最大均匀性，提高加工速率，提高层质量。独特的ECR构型允许一个非常均匀的等离子体源和一个非常受控的高能环境，导致材料的稳定成核和更好的材料性质的保留。系统可以在450°C的最大基材温度下处理直径达5.7英寸的晶片。ULVAC EX 550-C10具有一整套自动血浆诊断功能，包括实时血浆成像和车载光发射光谱（OES）系统。这样就可以对等离子体条件进行全面监测，以最大限度地提高工艺产量并提高层质量。另外，GASBOX可变水平的反向气体引入可以进一步优化沉积速率。该反应堆的其他特点包括具有先进脉冲控制的固态发电机、自动腔室清洗和膜厚度监测器。这样可以精确控制基板的加热和冷却、基板的移动,并提供可重复的过程.总的来说，EX-550-C10为许多应用提供了一个成本效益高的高质量薄膜沉积解决方桉。