二手 ULVAC EX-650-C16 #9053847 待售

ULVAC EX-650-C16是一种用于生产电子元件的高端串联射频（RF）无功离子蚀刻器（RIE）设备。该系统利用多项技术进步，以无与伦比的吞吐量对材料进行精确的蚀刻。EX-650-C16单元由反应堆主室、上层预室、集成样品装载机、计算机控制气体喷射工具和处理后等离子体室组成。主反应堆室装有两个16英寸的电线杆和一个8英寸的电线杆，2KW RF电源能够达到2.3 Torr的真空压力。这样可以实现高达0.1um/min的极高蚀刻速率。它还使用基于四象限设计的湍流优化资产，允许增强蚀刻图桉形成的均匀性。上层预制室采用两级等离子体优化模型，采用三个电极销，有助于对精细材料和基板进行精确、高速率的蚀刻，其蚀刻速率甚至高于主反应器室。集成的样品装载设备可通过自动距离、固定和定向控制功能轻松更换样品。它还提供了处理敏感材料的安全环境。ULVAC EX-650-C16先进的气体注入系统允许精确的体积控制和将化学品引入反应堆的内部压力室。该单元允许对更多奇特材料或分层基材的蚀刻进行精确优化。最后，后处理等离子体室采用两个25英寸的紫外线灯，压力可达6 Torr，可以进行高精度的后处理。EX-650-C16的所有这些特点共同创造了一个RIE机器，它提供了工业上目前可用的任何反应堆的最一致的准确和精确的蚀刻轮廓之一。