二手 ULVAC SOLCIET #9053849 待售

ULVAC SOLCIET反应堆是一类溅射和等离子体蚀刻反应堆。SOLCIET反应堆利用磁增强溅射和贝塞尔离子源等离子体蚀刻技术生产高质量的薄膜、纳米结构和材料。该反应器提供了出色的蚀刻均匀性、极致的加工灵活性，以及几乎100%的室内离子束诱导的等离子体蚀刻控制。溅射过程的工作原理是用原子或离子轰击目标材料，以便用所需的材料覆盖基材。ULVAC SOLCIET反应堆除了可以将材料沉积到基板上之外，还可以将其蚀刻掉。这是通过贝塞尔离子源等离子体蚀刻过程完成的。Bessel-ion-source技术利用脉冲电磁（EM）场对离子进行聚焦，以便有效蚀刻掉不需要的材料。这项技术还使操作员能够精确控制蚀刻过程中使用的离子数量和类型。SOLCIET反应堆由于其磁场技术增强的溅射和贝塞尔离子源等离子体蚀刻工艺，在蚀刻方面提供了前所未有的均匀性。这在需要精确蚀刻的应用中尤其有益，例如纳米结构的生产。ULVAC SOLCIET中使用的磁场使带电粒子在整个基板表面上的分布更加均匀，导致更大的蚀刻均匀性。此外，这些反应堆还能够提供近100%的室内离子束诱导的等离子体蚀刻控制。通过使用强大的"新光学"镜头，SOLCIET可以将离子束聚焦到一个很小的点，从而能够非常精确地控制蚀刻过程。这在小规模或高精度应用中特别有用。ULVAC SOLCIET也因其极大的灵活性而受到称赞。它的模块化设计允许方便地在各种兼容的ULVAC溅射和等离子体蚀刻模块之间切换，允许为每个应用程序量身定制的设置。此功能允许性能优化和成本效益。总之，SOLCIET是生产优质薄膜、纳米结构、材料的绝佳工具。其强大的技术、多用途的设计和精密蚀刻能力，使其成为溅射和等离子体蚀刻领域有前途的趋势引领者。