二手 ULVAC VEP-1000 #9313810 待售

ULVAC VEP-1000是一种垂直电子回旋共振（ECR）反应器，设计用于高通量化学气相沉积（CVD）过程。ECR反应堆用于创建等离子体，然后成为CVD过程所需的自由基来源。VEP-1000最适合用于石墨烯生长等应用，许多ECR反应堆就是这种情况。ULVAC VEP-1000配备了以NbFeB永磁体和铝线圈外壳开发的永磁设备。这个系统在磁性上将等离子体限制在反应堆内，导致等离子体密度增强，均匀性提高。VEP-1000还包括功能强大的微波发电机和电源系统,可实现静音、稳定和安全的操作。ULVAC VEP-1000包括一个六袋式前体喷射器，允许向等离子体腔引入多达六种不同的前体。前体的注入角可以调节，以控制等离子体密度和均匀性。VEP-1000的最大沉积速率为10.4 nm/s，工艺温度范围为5至850 °C。ULVAC VEP-1000具有单轴可倾斜基板支架和内置冷却单元,以提高工艺稳定性。内置晶圆冷却机可以有效传递过程中产生的热量。完整的VEP-1000工具基于开放的体系结构,允许高度的可配置性和与其他控制器、仪器和用户应用程序模块的兼容性。ULVAC VEP-1000设计为易于维护,包括用于定期清洁和维护模型内部部件的自动化维护资产。其强大的设计和自动化功能确保了可靠和可重复的过程结果以及较长的使用寿命。VEP-1000的高级自动化功能还大大减少了设置和维护时间,使其成为许多CVD应用程序的理想选择。