二手 ULVAC VPC-260 #9296182 待售

ULVAC VPC-260是一种常用于等离子体来源的低压电容放电（CD）反应器。这类反应器是蚀刻、沉积和表面改性等过程的理想选择。VPC-260配备了数字工作控制器（DWC）,允许用户精确控制过程参数,如电压、脉冲持续时间和电容设置。ULVAC VPC-260的腔室由不锈钢和镀镍铜构成。反应堆顶部的石英窗口允许用户实时监控等离子体状况，而反应堆的温度范围为30至200 °C有助于防止长时间运行过程中的过热。VPC-260还配备了气闸装置，用于将sansrogen气体引入室内。气闸有助于降低污染风险，因为过程气体永远不会到达主室。ULVAC VPC-260利用CD的双脉冲模式，帮助产生来自等离子体的离子和自由基的高通量密度，以及来自低输入能量的高功率。低输入能量也有助于减少反应堆电极与其他等离子体源相比的磨损。VPC-260已被证明与各种底物兼容，如多晶硅、玻璃和砷化的。ULVAC VPC-260还具有无气操作功能,这意味着不需要上游气体处理设备。这使得它成为各种工艺的理想选择，特别是实验室环境中的工艺，因为它节省了空间，易于操作。总体而言，VPC-260是一个可靠和通用的CD反应堆，为各种等离子体应用和工艺提供了极大的灵活性。凭借其高功率、低输入能量和无气运行，这座反应堆能够满足许多应用的需要。