二手 ULVAC ZX-1000 #9237357 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 9237357
晶圆大小: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean Ti TiN Loadlock.
ULVAC ZX-1000是一种先进的等离子体反应堆,设计用于一系列工业和研究应用。它配有多级螺旋管式喷射器,操作高效可靠,能产生高达10,000K的高温等离子体。ULVAC ZX 1000由高压脉冲直流(DC)发电机供电,实现了精确和可重复的等离子体生产。为确保最佳运行,反应堆的线圈配备了多点温度监测设备,允许在运行过程中进行实时温度调整。反应堆的结构是模块化的,利用了一系列永磁和陶瓷元件,降低了系统的成本和复杂性,同时确保了可靠、可持续的运行。综合磁场使反应堆周围的等离子体均匀,限制污染物扩散并增加等离子体的寿命。另外,等离子体的电子密度可以使用一系列电容器调节,使等离子体流量得到精确控制。ZX-1000还具有用于监测电子温度和密度的精确等离子体控制和监测装置。这台机器提供了关于等离子体参数的准确可靠的信息,使操作得以优化以达到最大性能。该反应堆具有多种材料的一系列过程,包括导热系数有限的过程,并证明了产生丰富的源等离子体的能力,包括氘和氧的产生。此外,可以利用反应器实现材料的表面处理和沉积。简而言之,ZX 1000是一种先进的模块化反应堆,能够处理一系列工艺和材料,并具有精确的控制和监控系统,以确保最佳性能和安全性。其高效可靠的运行以及低廉的成本,使其成为各种工业和研究应用的诱人选择。
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