二手 ULVAC ZX-1000 #9237358 待售

ULVAC ZX-1000
製造商
ULVAC
模型
ZX-1000
ID: 9237358
晶圆大小: 8"
PVD System, 8" (5) Chambers Preclean PZT Pt Loadlock.
ULVAC ZX-1000是为灵活高效运行而设计的高温低真空等离子体反应器。这座反应堆能够在低真空环境下达到高达1000 °C的温度,为各种先进的加工和材料合成任务提供了理想的气氛。它还被设计为适用于各种工艺应用、材料和工艺。ULVAC ZX 1000建有垂直于等离子体源的径向磁场,是电子回旋共振设备和感应耦合放电源的组合。这种组合创造了理想的低真空环境,并提供了高密度的等离子体。这座反应堆还被设计为通过发射低水平的二次电子来尽量减少热干扰。ZX-1000配备了超高速数字供电系统。该设备可实现精确的电源控制和高效的运行。此外,反应堆设计为具有较低的工作温度,从而减少热量损失,并最大限度地减少对周围部件的热负荷。ZX 1000具有多种安全功能,例如其温度控制机,可防止操作过程中温度过高。它还具有紧急关闭能力,以及耐火布线和化学惰性密封剂等其他安全特性。ULVAC ZX-1000的独特设计使其具有广泛的应用,包括硬化处理、薄膜沉积和溅射。再者,它的设计可以适应任何需要低真空环境的实验技术,由于其适当的温度控制、高密度的等离子体以及精确的功率设置。ULVAC ZX 1000是为各种应用创建和维护优质材料的理想生产机器。
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