二手 UNAXIS / OERLIKON / ESEC LA #9308045 待售

UNAXIS/OERLIKON/ESEC LA反应堆是为各种工业应用而设计的连续工业等离子处理系统。它专门用于先进设备和电子元件的生产和蚀刻。ESEC LA Reactor由内部磁控管源的腔室组成。该腔室采用双挡板几何设计，改进了对磁场最大限度控制磁通线的控制。整体设计呈现出高导电性的墙体，有利于过程的快速冷却。该反应堆的运行是在低压和高温下，在多种气体中进行的，如氙气、氧气、氯气、氢气和氮气。与其他型号相比，UNAXIS LA Reactor的主要优势在于其并联功率分配、稳定的等离子体特性、高达800 A的高排放电流、免服务运行、低运行成本和快速启动时间。反应堆的控制提供了很高的精度和过程的重复性，使反应堆具有很高的重复性。这使得它非常适合中大型工业生产。OERLIKON LA反应堆配备了多种安全特性，在整个先进设备和部件的生产过程中提供了较高的安全级别。这些安全措施包括低电压限值、用于疏散工艺副产品的内置排气鼓风机、气体溷合物和含有液体或固体颗粒的溷合物，以及监测无火花活动的水平。洛杉矶反应堆的另一个关键特点是结合了先进的发电机，提供脉冲功率的所需变化。这种变化取决于所需的蚀刻水平，并提供更高的分辨率和清洁面积。这种特性可以让反应堆在更精确的操作中使用，在不影响质量的前提下提高生产率。因此，UNAXIS/OERLIKON/ESEC LA反应堆是一个先进、高效和功能丰富的工业等离子体处理器，用于生产和蚀刻先进设备和组件。它提供了出色的过程控制和安全措施，以及高精度和可重复操作。因此特别建议用于大批量工业生产应用。