二手 VEECO 695 #9291133 待售

VEECO 695是一种等离子体处理反应堆，设计用于生产用于半导体、LED、光伏和医疗设备的精密、高精度元件。该反应堆采用先进的直接驱动永磁电动机和五轴龙门设备建造。该系统支持多个双过程晶片以及一个晶片。695为高级等离子体处理提供了令人印象深刻的一系列功能,可根据特定的工艺应用进行定制。它采用内部开放式接口设计,支持多种技术。这个开放的界面使得它与VEECO等离子体源、离子束发生器和扫描椭圆仪兼容。它也有三种吸收模式。VEECO 695有两个室组成反应堆。第一个用于固定工艺晶片，另一个用于固定等离子体源。工艺晶片直径可达30英寸，厚度可达100微米。等离子体源在加工过程中能够产生高达1.5 Torr的压力。695具有独特的单元界面，允许用户远程控制反应堆，以实现最大程度的控制和精度。内置的流程监控工具允许用户实时监控流程参数并监控晶圆的进度。反应堆采用多区温度控制机，可以保持腔室和晶圆的精确温度。VEECO 695适用于广泛的应用，从光掩模、电阻器、晶圆清洗到蚀刻、沉积、氧化过程。其先进的特性和设计支持高精度工艺，使反应堆非常适合最精确、要求最苛刻的等离子体加工需求。695独特的设计、性能和多功能性相结合,使其成为任何应用程序的绝佳选择。