二手 VEECO / DEKTAK K465 #9229665 待售

VEECO/KDEKTAK VEECO/DEKTAK K465反应堆设计用于沉积材料层，用于半导体工业中的薄膜沉积应用。它提供精确的高分辨率控制薄至0.1nm的层,以创建关键的三维结构。VEECO K465反应堆具有多用途双运输波纹管，能够容纳机器人、手动和单晶片索引配置等不同类型的底物转移机制。运输波纹管还允许精确、一致地整合多个反应堆部件。先进的波纹管设计确保了反应室内清洁稳定的环境，非常适合生产高质量的层。DEKTAK K465反应堆的真空系统也有助于其高效性能。采用带有扩散器和液氮屏蔽冷捕装置的涡轮泵建造，可产生较高的真空水平，减少泵送时间。这使得反应堆可以快速开始工作，不间断地完成顺序沉积运行。K465还提供先进的基板加热能力。它有两个不同的基质带，即低温和高温带，用于精确控制基质温度。此外，这些区域还具有一个热隔离的感光器，用于均匀加热基板。反应堆具有复杂的控制逻辑,可确保在温度升高时进行准确和稳定的控制。总体而言，VEECO/DEKTAK K465是一种精密薄膜沉积系统，非常适合制造精细的三维结构。其可靠的双运输波纹管提供精确的沉积控制，真空系统保证持续清洁的环境。此外，其基板加热能力确保基板周围的温度均匀。总之，这些特性使其成为生产先进形式半导体技术的绝佳工具。