二手 VEECO / DEKTAK K465 #9383053 待售

VEECO / DEKTAK K465
製造商
VEECO / DEKTAK
模型
K465
ID: 9383053
晶圆大小: 4"
MOCVD System, 4".
VEECO/DEKTAK K465是一种用于沉积和/或蚀刻控制的反应堆。它是一种石英晶体微平衡设备,致力于执行其他分析技术,如椭圆偏振、光学干涉测量和扫描电子显微镜。这种反应器经常用于先进集成电路(IC)的研究和制造。VEECO K465由若干组成部分组成,这些组成部分共同努力实现精确的过程控制。反应堆的核心是一个石英-晶体-微平衡晶体电池,用于测量极少量的质量沉积和蚀刻。该系统还包括一个超快数字成像单元,用于监测沉积和蚀刻过程。该机还包括一个用于溅射和离子蚀刻的离子源,用于大气控制的真空泵,以及多种其他组件。DEKTAK K465在控制过程参数方面提供了卓越的精度、准确性和可重复性。它可以产生低至单个纳米范围的超高分辨率测量,非常适合在一定温度和压力范围内的沉积和蚀刻技术。该反应器还用于研究和测试金属、半导体、绝缘体等多种不同的材料和底物。虽然最初主要是为IC加工研发而设计的,但K465也用于其他行业,如汽车、化学/工艺和医疗设备制造。该反应堆能够在等离子体过程中提供卓越的性能,并为这些行业执行更快、更高分辨率的测量。总体而言,VEECO/DEKTAK K465是一种先进且功能强大的反应堆,用于各种工业和应用。该工具极其可靠,无论正在处理的环境或材料如何,都能产生高度精确的结果。对于任何涉及半导体加工和沉积/蚀刻控制的研发项目,都应考虑VEECO K465。
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