二手 VEECO E450 #293641838 待售
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VEECO E450是半导体晶圆加工的完整交钥匙解决方桉。它是一种多用途蚀刻沉积反应器，设计用于制造复杂的半导体元件。反应堆由一个完全封闭的水平柜子组成，包含反应堆的堆芯组件。橱柜左侧是工艺室，里面装有初级电化学电镀电池和电阻气体蚀刻电池。该工艺室由可编程逻辑控制器（PLC）操作，提供对反应堆环境的精确控制。机柜右侧是热交换器，它将热量从加工室传递到反应堆冷却系统。冷却系统由一系列冷却板、风扇和油冷却器组成，确保反应堆保持所需的温度。热交换器还负责调节反应堆真空的静压。静压对于反应物在底物上的受控施用至关重要。进程分庭分为三个进程领域，每个领域都有自己的进程和控制。第一个工艺区域是铂金沉积室，利用电化学工艺在基板上沉积铂金等金属。铂金沉积室装有气体喷射控制器，可以在过程中精确控制反应物。第二个工艺区域是电阻气体蚀刻室，利用高频等离子体将复杂结构蚀刻到基板上。该室配有闭环温度控制系统，确保了稳定的蚀刻环境。第三个加工区域是反应性离子蚀刻室，它结合物理溅射和离子蚀刻，在基板上产生复杂的图样。E450是一种用途广泛、用户友好的反应堆，旨在制造各种半导体元件。VEECO E450具有精密的控制系统和精密的工艺，是半导体行业制造专业人士的理想选择。
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