二手 VEECO E450 #293641839 待售
网址复制成功！
单击可缩放
VEECO E450是一种原子层沉积（ALD）反应器，用于沉积具有高度共性和均匀性的薄膜。它是一种多功能工具，旨在满足薄膜沉积、外延生长、蚀刻等规模较小的半导体制造工艺的要求。该反应器具有极好的工艺重复性和精确度，产生更高的产量和改进的整体工艺控制。E450配备了双源低能电子束蒸发设备和可变金属氧化物源。这种蒸发器允许将优质薄膜沉积到均匀性、厚度和均匀性得到改善的基板上。金属氧化物源能够生产厚度极窄的薄膜，这对于高性能器件的制造具有重要意义。此外,系统还可以配置为执行各种不同化学成分的ALD工艺和薄膜。VEECO E450具有先进的单元级控制机,可提供精确的温度、时间和压力控制,从而提高工艺产量和控制能力。该工具具有控制超过25个过程变量的能力，以实现所需的沉积结果。它还具有集成的计量和分析功能来测量薄膜厚度和质量,以及促进高级工艺控制。E450反应堆是为灵活的生产过程而设计的，具有较高的运行时间、可重复性和可靠性。它采用现代化、先进的部件和技术建造，包括两个低温反应室、一个快速循环负载锁和高效的低电离泵送系统。此外，工艺开发和测试可以在其综合测试室内进行。VEECO E450反应堆是制造先进半导体器件的关键设备。它是一种易于使用的资产，提供出色的胶片均匀性、高收益和可重复性。此外，通过先进的模型水平控制和综合计量，确保了所需的薄膜沉积效果的一致实现。
还没有评论