二手 VEECO E475 #293641835 待售
网址复制成功！
单击可缩放
VEECO E475是一种设计用于生产非常高纯度材料的反应堆。这是用反应堆真空炉内的热量、高压和真空的组合来完成的。炉子的温度范围为1400 °C，而电极的高压额定值可以在200-10,000 V之间，使得各种金属或合金能够沉积到基板上。反应堆具有可选的独特全金属热壁设计，额定最大压力为10-4 torr。此外，一种反应气体进气和排气设备允许各种气流分别高达15 sccm和200 sccm。这允许精确控制的Ar、O2、N2和其他分子用于沉积过程。该炉还有两个无油泵系统，一个用于工艺供应（14.7 psi），一个用于真空室。对于真空室，抽水系统由冷创伤涡轮分子泵和涡旋泵组成。这两种型泵结合了通过一扇门打开和关闭工艺室的能力，不仅对工艺室内的大气提供了非常精确的控制，而且保证了非常干净的操作。控制单元允许客户使用内置触摸屏设置和监视所有操作。使用此控制机器,客户可以微调气流、压力和电源设置,以最大限度地提高各种基材的沉积速率和均匀度。E475是一个可靠和易于使用的反应堆，可以生产高质量的材料。这种反应堆非常适合从纳米结构到复杂模式的许多应用，因此非常适合工业和学术测试或研究。
还没有评论