二手 VEECO E475 #293641836 待售

製造商
VEECO
模型
E475
ID: 293641836
优质的: 2010
MOCVD System 2010 vintage.
VEECO E475分子束外延(MBE)设备是一种最先进的分子束外延沉积系统,使研究人员能够对薄膜的分子束分子束外延(MBE)进行多种应用。该装置能够以非常精确的控制方式将原子和分子的多个光束引入基板表面,从而能够将各层沉积在通常用于制造半导体和光电器件的多层结构中。E475机具有1000 amu(=1.67 x 10-27 kg)分子束反应器、涡轮分子泵动器、差动泵动器、8个高电流热蒸发源以及各种真空计和传感器。沉积室拥有两个旋转阶段,温度选项高达2000 °C (3632 °F)和多种基板,如单晶基板、晶片和纳米球阵列。VEECO E475提供了大量的过程参数,可以远程编程用于原位处理和离线分析。E475模型中的高电流热蒸发源为各种材料提供了均匀和可重复的沉积,并具有高温稳定性和控制性。这些源提供高达2000 °C (3632 °F)的可变温度,精度为0.01 °C (0.18 °F)。该系统的差动抽水设备提供了很高的真空性能,使参数保持在很小的波动。VEECO E475系统还有一个石英坩埚,其设计在2000°C(3632 °F)时最大质量为8克。石英镉是专门设计的,以尽量减少因温度突然变化而可能发生的物料再蒸发。E475单元生产的材料具有碳纳米管、多晶膜等低温宽带隙材料。薄膜的长宽比可以从1到10变化,可以得到最小长宽比误差为1%。VEECO E475 MBE机中使用的所有部件都装在一个不锈钢机柜内,该机柜装有空调、除湿和氮气净化装置,以保持温度。它还包括通过以太网进行的远程控制,以便于监控和减振。它还包括安全传感器,以减少发生事故的可能性。总之,E475分子束外延(MBE)工具是一种先进的资产,可以快速、精确和可重复地沉积薄膜材料层。其工艺可用于半导体和光电工业的应用。它具有广泛的特性和功能,可提供可靠、可靠和准确的沉积结果。
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