二手 VEECO / EMCORE D125 #293793344 待售

VEECO/EMCORE D125是一种高功率垂直电子回旋共振（ECR）磁控管溅射反应器，设计用于多种溅射沉积应用。反应堆有一个垂直的钼阴极和一个阳极，可以接受直径可达125毫米的目标。烤箱能够以可能的3 Torr下限支撑高达6 Torr的压力，并具有独特的气体溷合器喷嘴，在沉积区创造出一致和均匀的气体环境。反应堆由ECR微波功率提供动力，配备短波导，波导开口大至125毫米。这允许ECR微波功率的直接波导耦合，以提高沉积速率和电离效率。VEECO D125工作频率为13.56 MHz,具有嵌入式电源控制系统,可精确控制ECR微波功率水平。动力控制系统还允许增强对目标大小、目标形状、沉积速率、基压、微波功率等系统参数的配方控制。反应堆提供各种加热选项，包括最多三个射频加热源和石英灯加热，以及用于温度测量的综合高温计。安装了高温计后，烤箱也可用于氧化和退火过程。采用EMCORE D125的石英灯加热灯具有可调强度，有红外、紫外线和深紫外线，高度可调，可精确加热基板。除了它的特点外，D125反应堆还可以定制以满足客户的需求，比如从几个基压条件中进行选择，定制目标线束长度和阳极设计，以及可选的可配置ECR远程源。该反应堆还获得了用于危险区域环境的认证，并具有广泛的分类，包括ATEX和IECEx。这使得它适合多种应用，包括工业、研究和大学实验室。总体而言，VEECO/EMCORE D125是一种高效、可靠和可定制的反应堆，旨在提供无与伦比的性能和质量沉积。反应堆提供了一系列灵活的选择，是各种溅射沉积应用的绝佳选择。