二手 VEECO / EMCORE D180 GaAs #9031463 待售

VEECO/EMCORE D180 GaAs反应堆是一种生产级先进的气相沉积工具，用于半导体工业的加工应用。这种反应堆能够高容量、一致地生产高质量、基于GaAs的组件和材料，用于各种应用，如光子、太阳能电池和光电器件。该设备由真空沉淀室、汽化室和排气涂层三个主要部件组成。真空沉积室容纳基板，安装在基板支架上，用于容纳蒸发、溅射和其他膜沉积过程。腔室设有原位石英视口，允许实时监测生长过程。汽化室用于源材料的供应，然后输送到基板上。气体可以进入室内，以协助或改变沉积过程。排气涂层有助于保持沉积室内的均匀真空压力，从而确保材料沉积的最佳工艺条件。VEECO D180 GaAs反应堆的设计可在大温度范围内运行，最高可达550摄氏度，实现高温气相沉积和金属电镀，包括金、铝、铜。该系统具有快速的沉积速率,可实现高组件吞吐量。反应堆装有标准USB端口，用于与其他机器或控制器通信。该装置还具有嵌入式处理功能，包括视频流、金属盐合成和直接控制沉积速率，从而能够自动控制沉积过程。该机符合所有安全标准，并具有先进的安全设计，包括集成过程控制、水冷、安全措施和紧急关闭系统。EMCORE D180 GaAs反应堆易于使用,维护服务方便.可以使用该工具处理各种材料和组件，进一步扩大应用范围，使半导体组件的生产更加高效。