二手 VEECO / EMCORE D180 #293760075 待售

VEECO/EMCORE D180是一种紧凑型半导体反应堆,专为表面图样设计.它利用前体气体和高能电子束将半导体材料薄膜沉积在基板上。该设备旨在提供对工艺参数的极其精确的控制，确保在将保形薄膜沉积到基板上时具有高度的可重复性和精确度。VEECO D180配备了强大的电子枪，产生约7.5安培的束电流和高达500kV的加速电压。它采用双阳极构型，用于更高均匀度的电子束。该反应器还包括一个石英监测室，用于观察薄膜沉积的进展情况，从而便于优化各种材料应用的工艺。EMCORE D-180还配备了一个新颖的过程互锁系统,该系统在检测到过程中断时立即关闭光束,从而防止损坏基板。该装置采用高效的风扇辅助减肥机，旨在捕获有害物质并将其运送到二级处置装置。减排工具采用了HEPA过滤器和碳过滤器，以确保危险材料能够有效和安全地从工作区域运出。资产利用创新的模式技术，如"底物扫描"，以完全控制沉积过程。EMCORE D180支持多种模式技术，包括掩码工艺、扫描线工艺和新颖的"快速沉积工艺"。该模型还配备了高性能控制器，以确保沉积过程得到准确监控，确保过程参数得到有效调整，使产量最大化。VEECO/EMCORE D-180的设计使得它非常适合各种半导体应用，如MEMS制造、电子封装、ODIC和光电器件。它旨在为其预期的应用程序提供一个可靠、稳定、可重复和经济高效的生产过程。