二手 VEECO / EMCORE D180 #9178724 待售

VEECO/EMCORE D180是一种大气压力等离子体反应器，设计用于氧化物、氮化物、金属和硅化物的正离子注入和沉积。它具有一个长卵形腔室，便于使用一对旋转的偏转板均匀分布气体。与传统的凸轮驱动设计相比,它灵活的设计便于修改,并提供了出色的工艺一致性和可重复性。反应堆装有两个大小形状可变的石墨电极，以适应不同的植入物要求。与传统的离子喷枪相比，内部绝缘能确保更高的过程电离和更高的植入物强度，而自偏置发射器即使在大过程变形时也能保持稳定的放电。主要等离子体源利用感应耦合使各种过程气体电离，包括过程控制和数据采集硬件。每个电极的端面被开槽，以增加分离电子与离子种类的磁场。实现等离子体稳定性所需的磁场量随着腔室半径的增大而增加，确保整个腔室内的总等离子体密度一致均匀。VEECO D180具有先进的供气系统和质量流量控制器,可精确输送和选择气体。气体溷合物可以实时改变，自动调压保持对腔室压力和基板温度的精确控制。系统在运行过程中捕获所有电流和电压数据以进行全过程监视和控制,还可以通过以太网连接从外部进行监视。最后，系统可以连接到退火炉，允许样品退火后。低运行温度和先进的排放控制机制将对环境的影响降至最低。因此，EMCORE D-180是一种成本效益高、环保的等离子体沉积设备，具有优异的沉积特性和工艺能力。