二手 VEECO / EMCORE D180 #9224745 待售

VEECO/EMCORE D180是为纳米级沉积应用而设计的最先进的反应性离子蚀刻（RIE）反应器。这款高性能设备将真空沉积蚀刻的最新技术与先进的控制算法相结合，提供可靠性和精确度。VEECO D180能够实现纳米精度的复杂结构。EMCORE D-180采用先进的双源屏蔽体系结构设计,以确保更统一的空间蚀刻轮廓。这种设计，加上电子束柱中多晶片磁化率线圈的均匀性，使得层均匀性和可重复性优于基板。D-180还包括一个独特的气体系统设计，确保整个沉积室的气体流动均匀，以加强过程控制。该单元的晶片的高速旋转允许一致的产品沉积，提高过程的可靠性。此外，该腔室还配备了热敏电阻、气体传感器、隔膜、加热器等多种设备友好组件，用于精确的温度控制和向腔室的精确气体输送。机器还可以控制其电磁场的强度，甚至可以调节能量色散X射线（EDX）光束。EMCORE D180具有高度可配置性,并具有其他功能,如灵活的工艺软件、低噪声风扇系统和自动清洗站。所有这些特征与VEECO专有设计和质量工程相结合，使D180能够用于精确蚀刻和沉积纳米级结构。此外，该工具可以在每个加工站支持多达六个等离子体源，从而提高机器的性能和灵活性。VEECO D-180还可以实现高达400毫米/分钟的高吞吐量应用速度。它配备了一个诊断室，能够对流程进行详细的诊断和微调，从而无需聘请专业的操作/维护技术人员。通过利用资产的先进设计和技术,VEECO/EMCORE D-180可用于生产纳米结构材料和层,使制造商能够创建高性能的产品和组件。VEECO/EMCORE D180是一种高度先进的模型,可为各种纳米级应用程序提供一致、可重复的性能和质量。