二手 VEECO / EMCORE D300 #9142693 待售

VEECO / EMCORE D300
製造商
VEECO / EMCORE
模型
D300
ID: 9142693
晶圆大小: 4"
MOCVD System, 4".
VEECO/EMCORE D300是为生产发光二极管(LED)而设计的快速热处理反应器。反应堆设有密封至50 Torr的工艺室,以保护工艺大气。该单元还具有内置的双区水平或垂直感受器设备、绝缘垂直法兰以及水平或垂直氧化铝感受器。对于需要更高温度精度的过程,磁感器系统可实现更好的温度均匀性。该装置的温度范围为10°C-900°C,可变加热速率高达200°C/s,可快速热处理。它具有由惰性、活性和反应性气体组成的工艺气氛,最多可容纳15个管式炉。它还配备了高压和温度安全监视器,以防止在处理过程中超压/过采样。设备提供过程控制,包括时间、温度、压力和其他几种参数设置。其数字化控制机器提供精确的过程控制,包括数据记录和对过程中和过程后信息的分析。该单元有一个全封闭、风冷的电动工具和不锈钢结构,可以提供长期的耐用性。它还包括一个双丝技术,可更换片状LED,提供可靠和可重复的性能.该单元的设计便于安装和维护。其直观的界面允许方便的设置、维护和操作。VEECO D300的整体效率等级为90%,残留辐射为10%,环境温度等级为90°F。其设计适用于各种LED应用,如背光灯、日间行车灯和薄膜显示器。也适用于半导体材料的研发。该装置具有快速疏散资产,处理时间短,低热质量感应器模型,可在需要时快速热关闭。它还提供温度均匀至900 °C的单发应用程序。
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