二手 VEECO / EMCORE D300 #9250874 待售

VEECO/EMCORE D300是一种射频感应耦合等离子体（ICP）反应器。是用于制造高品质、高纯度多晶硅薄膜的工具。它是为8"和12"晶片的垂直或水平操作而制作的，占地面积小，适合工业规模生产。VEECO D300利用ICP在反应堆室内产生高度电离的点源等离子体。ICP通过产生一个高频场来创建等离子体，该场在等离子体内感应电流并创建一个高度电离的点源。高度离子化的点源等离子体是关键，因为它促进高温、电子密度和反应堆室内的均匀性。EMCORE D300配备了三种不同的感受器。这些用于安装晶片，调节温度，以及保护硅在等离子体暴露期间不被蚀刻。D300的闭环控制设备提供精确的气体流量控制，使用户可以精确调整流量，为不同的多晶硅膜创建定制配方。VEECO/EMCORE D300还配备了气体中和系统，以帮助尽量减少多晶硅工艺过程中产生的副产物的影响。反应堆的设计目的是促进均匀的温度、电子密度以及工艺链和配方。VEECO D300采用先进的两区射频输电装置,可对射频场进行更大的控制。这两个区域可以独立调整，为优化处理提供理想、平衡的环境。EMCORE D300还具有一个高质量的石英沉积室，在该过程中包围和保护晶圆。沉积室的设计旨在确保均匀沉积，并尽量减少晶片上可能出现的任何缺陷。总体而言，D300提供了一个坚固、高效的ICP反应器，可促进高质量、高纯度的多晶硅薄膜。其闭环控制机和双区射频送电工具为工业应用提供可靠耐用的性能。其石英沉积室可确保均匀沉积，并有助于最大限度地减少晶片上可能出现的任何缺陷。