二手 VEECO / EMCORE D300 #9264313 待售
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VEECO/EMCORE D300是一种D型高压电子束物理气相沉积(EB-PVD)反应器。它专为生产高品质的薄膜太阳能应用而设计,包括多结集中器电池、柔性电池和模块以及商用级模块组件。VEECO D300反应器具有低磁性杂散场,对多结集中器电池的加工具有重要意义。它还为实现精确、可重复的薄膜太阳能应用提供了必要的高均匀性。该反应堆包括一种热隔离系统构型,对低源底热负荷有效。它还具有低气锁容积设计,由于较短的热循环,可用于更高的吞吐量。该反应器具有闭环温控系统,可实现最高的薄膜厚度和层均匀性控制。EMCORE D300反应堆配有先进的光学器件,有助于形成高质量的金属和氧化物薄膜。它有一个先进的直流偏置系统,可以在曲面上平滑沉积,并且可以产生均匀的多层结构。D300反应堆还包括生产薄膜太阳能应用所必需的先进物理气相沉积技术。这些包括EB镀层、多区PVD能力,以及离子辅助沉积以获得特定的光学性质。VEECO/EMCORE D300反应堆能够进行高温处理,温度可达1,000 °C。它还配备了自动清洗能力,这意味着停机时间最短,产量提高。此外,VEECO D300反应堆由坚固的部件构成,如不锈钢真空室和烤箱室,确保了最高质量和可靠性。
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